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Main Products & Service（2023年～2025年の実績）

• JASM社における300mm Heater Jacket立上作業の完了とASの担当　　

2023年9月～2025年9月の期間に、JASMの熊本新工場にてHeater Jacketの立上作業を完了し、引き続きAfter serviceを担当しております。

• 熊本におけるCMP関連部品修理センターの立上完了

2025年12月までに熊本工場においてCMP関連部品の修理センターを立ち上げ、工場の竣工、インフラの構築、社内トレーニングを完了いたしました。
 

Main Product & service（2026年の目標）

• CMP Rotation Unitの自社修理Serviceを開始 　　

2026年1月より、熊本にて200mm CMP Rotation Unitの自社修理Serviceを開始いたします。

• CMP Pad Condition Motorの自社修理インフラの整備とServiceを開始

2026年中に300mm Pad Condition Motorについて日本国内で自社修理することを目標に、インフラの構築と人員のトレーニングをいたします。

• FacilityにおけるHeater Jacketの販売及び立上Engineering Service

300mm工場Facility向けに新素材のAerogelを使用した台湾製Heater Jacketの販売及び立上Serviceを展開いたします。

• 半導体装置の改善改良、部品及び素材の販売

300mm半導体装置のCIP、並びに部品と関連素材の販売を開始します。